金融界2024年10月28日音讯，国家知识产权局信息数据显现，北京华卓精科科技股份有限公司请求一项名为“刚度阻尼设备及具有其的光刻设备”的专利，公开号CN 118818905 A，请求日期为2023年4月。
专利摘要显现，本发明供给了一种刚度阻尼设备及具有其的光刻设备，触及光刻设备技术领域，为处理平面光栅和光栅装置板在作业状态下的结构动态稳定性易遭到搅扰的问题而规划。包含沿Z向设置的榜首装置结构和第二装置结构，榜首装置结构固定衔接活塞，第二装置结构开设包容腔，包容腔设置粘性流体，活塞伸入包容腔；榜首装置结构为可变形结构，榜首装置结构可以发生绕X向的变形、绕Y向的变形和绕Z向的变形；榜首装置结构经过补偿组件与第二装置结构衔接，补偿组件答应榜首装置结构与第二装置结构发生沿Z向的相对位移以及绕X向、绕Y向和绕Z向的滚动自由度，补偿组件盘绕并密封包容腔。本发明确保了平面光栅和光栅装置板在作业状态下的结构动态稳定性。